Чому оксид під затвором не можна було тоншати далі
Текст англійською рівня C2: діоксид кремнію протікав на кількох атомах, логіка Intel на 45 нм узяла оксид на основі гафнію і металевий затвор, а канал довелося охопити.
Advanced Materials Science for Semiconductor Scaling
Натисніть на будь-яке слово, щоб побачити переклад
. . , . , - , . , . , . - 45 , - . - : , . . .
. , . , . , : . . , .
. . - , , .
Читайте далі з перекладом
Створіть безкоштовний акаунт: 7 днів Pro, далі 20 перекладів слів на день або платний тариф.
Про статтю
Що вивчите
Механізм в англійській C2: межа, матеріал, який на неї відповів, і форма транзистора, яка мала змінитися далі.
Лія хоче знати, чому оксид під затвором перестали робити дедалі тоншим. Діоксид кремнію протікав, коли лишалося лише кілька атомів. Оксид на основі гафнію має вищу діелектричну проникність, тож товстіша плівка все ще зв'язує затвор із каналом. Металевий затвор замінив полікремній, бо новий оксид із ним не ладнав. Intel увів цю пару в масове виробництво логіки на 45 нм, описав це як перший такий процес і нарощував плівку осадженням атомарними шарами. FinFET охоплює затвор із трьох боків ребра. Нанолист оточує канал з усіх боків.
Прочитайте книгу англійською
Усі книги рівня C2Коментарі
Увійдіть, щоб залишити коментар
УвійтиПоки що немає коментарів. Будьте першим!
